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       X射線激光光源是受激輻射式光頻放大器(激光)可產生相干、共線、強度極高的單色光。在X射線至紫外光波長范圍內的激光由于用途廣泛，目前研究、發(fā)展迅速。

       原子中處于基態(tài)的電子在吸收波長為λ的光子能量后，將躍遷到一能級較高的軌道。通常受激電子會立即自發(fā)地返回到基態(tài)，并輻射出波長相同的光子。但也會出現(xiàn)電子落人中間態(tài)(亞穩(wěn)態(tài))的情況，在此中間態(tài)，電子自發(fā)躍遷到基態(tài)的概率很小，從而使得這些電子陷落于此中間態(tài)中。波長為λ的激發(fā)輻射不斷將電子提升到這種亞穩(wěn)態(tài)，并將最終導致總體逆轉，出現(xiàn)處于亞穩(wěn)態(tài)的電子多于基態(tài)電子的現(xiàn)象。每個原子中僅有一個特定電子經受這種轉換。

 X射線激光光源發(fā)射光譜

       在一定條件下，處于亞穩(wěn)態(tài)的電子會向基態(tài)躍遷，并輻射出能量，其對應的波長為λ。(1,<入)。這一轉換可以由波長為λ。的  輻射受激產生。該輻射不能被吸收。當一個亞穩(wěn)態(tài)原子回復基態(tài)，其輻射能量將立郎激發(fā)其他亞穩(wěn)態(tài)原子衰變，產生波長為λ。的強輻射。此即我們所想要得到的能量輻射-激光。

       產生X射線激光的困難主要有兩點:一是隨著從亞穩(wěn)態(tài)到基態(tài)能量間隔的增加，相應的狀態(tài)壽命減少，從而很難保持其總體逆轉性能;二是很難實現(xiàn)激光X射線的反射。

       軟X射線激光處于4~40nm范圍，在光譜學領域的應用較少。但現(xiàn)階段的技術已可以將用作原始激發(fā)源的激光脈沖能量的大約百分之幾轉換成非相干X射線。將可利用的光譜范圍從軟X射線擴展到硬X射線，應用于X射線衍射和吸收光譜。

       利用超短脈沖激光和高次諧波發(fā)生器是發(fā)展實驗室型相干X射線源的途徑之一，目前可以達到2.3~4.4nm的波長范圍。由激光等離子體也可以產生硬X射線，例如Si、Ti、Cu的特征X射線等。因此我們期待X射線激光能在不遠的將來取得顯著進展，以期在X射線光譜領域獲得較大應用，較大程度地改善XRF的檢出限和靈敏度。